Halbleiterindustrie
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Die Anforderungen an Messtechnik in der Halbleiterproduktion sind vielfältig: höchste Reinheitsgrade, Medienresistenz, Dichtheit, Präzision sowie die Einhaltung der SEMATECH- und SEMI-Normen sind entscheidend für die Entwicklung und Herstellung unserer Messinstrumente für diesen Sektor.
Unsere Produktpalette bietet individuell angepasste Messlösungen für die Überwachung von Druck in Systemen zur Versorgung mit Gasen, Chemikalien und Lösungsmitteln. Dank unserer innovativen Gestaltung, die sich durch minimale Toträume und effiziente Spüleigenschaften der Messkammern hervorhebt, ermöglichen wir eine Minimierung der Zeiten für Inbetriebnahme und Wartung.
Für Anwendungen in explosionsgefährdeten Bereichen stehen zudem Geräte zur Verfügung, die den aktuellen gesetzlichen Bestimmungen und Richtlinien entsprechen und mit ATEX- bzw. FM-Zulassungen ausgestattet sind.
Anwendungsbereiche beinhalten:
- Gasversorgungssysteme wie Gas-Sticks, Gas-Panels und Bulk-Gas-Versorgungen.
- Versorgung mit hochreinem Wasser.
- Versorgung mit Flüssigchemikalien.
- Füllstandsmessungen bei Flüssiggasen und Lösungsmitteln.
Diese Spezifikationen gewährleisten eine außergewöhnliche Leistung und Zuverlässigkeit unserer Messgeräte in den hochspezialisierten und anspruchsvollen Umgebungen der Halbleiterindustrie, indem sie kritische Parameter genau und sicher überwachen.
WIKA WUC-10, WUC-15, WUC-16 Ultra high purity transducer Für explosionsgeschützte Bereiche, Ex nA ic
Für explosionsgeschützte Bereiche, Ex nA ic
 Datenblatt |
| Bedienungsanleitung |
- VCR® kompatible Druckanschlussgewinde
- Dichtheitsgeprüft mit Helium
- Gehäuse elektropoliert
- Oberflächenrauigkeit für Prozessanschluss Ra ≤ 0,25 μm
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Datenblatt |
- Messen von Drücken mit hoher Genauigkeit 0,15 % RSS
- Hervorragende Langzeitstabilität
- Schirmung und Unterdrückung von Signalrauschen
- Vakuum-referenzierte Druckmessung
- Aktive Temperaturkompensation
| Datenblatt |
| Bedienungsanleitung |
- Hohe Überlastgrenze bis 400 %
- 0,1 % FS Genauigkeit
- Erfüllt höchste EMV-Anforderungen
- Messbereiche 0 ... 27,22 kg bis 0 ... 136,08 kg [0 ... 60 lbs bis 0 ... 300 lbs]
- Hohe Schutzart IP65 für Außennutzung und Prozesse mit starker Betauung
 Datenblatt
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Bedienungsanleitung
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- Druckbereiche: -1 ... 400 bar [-15 ... 6.000 psi] in den Druckarten positiven und negativen Relativdruck sowie Absolutdruck
- Bis zu drei integrierte, tauschbare Referenzdrucksensoren
- Regelstabilität 0,002 % der Spanne
- Genauigkeit bis zu 0,008 % IS (IntelliScale)
- Präzision 0,004 % FS
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Datenblatt
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Bedienungsanleitung
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- Ergonomische Handhabung durch leichtgängige, innenlaufende Präzisionsspindel
- Integrierter Ölvorratsbehälter
- Abnehmbares Drehkreuz
- Prüfanschlüsse freilaufend (d. h. Messgeräte können orientiert werden)
- Integrierte Vordruckpumpe für große Prüfvolumen
| Datenblatt |
| Bedienungsanleitung |
- Genauigkeit: 0,020 % FS
- Messbereich: 25 mbar ... 1.001 bar [10 inH2O ... 15.015 psi]
- Temperaturkompensation: 0 ... 50 °C [32 ... 122 °F]
- Kommunikation über RS-232 oder RS-485
- Stabile und kompakte Bauform
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Datenblatt
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Bedienungsanleitung
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- Druckbereiche: -1 ... 210 bar (-15 ... 3.045 psi)
- Regelgeschwindigkeit 15 s
- Regelstabilität < 0,003 % FS (üblicherweise 0,001 % FS)
- Genauigkeit bis zu 0,01 % IS (IntelliScale)
- Präzision 0,004 % FS
| Datenblatt |
| Bedienungsanleitung |
- Totraumfreier Messstoffraum
- Exzellentes Spülverhalten
- Dichtheitsgeprüft mit Helium, Leckrate ≤ 10 -9 mbar · l/s
- Gehäuse und Messstoffraum elektropoliert, Oberflächenrauigkeit Ra ≤ 0,25 µm
- Alle Reinstgasverschraubungen lieferbar
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Datenblatt |
| Bedienungsanleitung |
- Ergonomische Handhabung durch leichtgängige, innenlaufende Präzisionsspindel
- Integrierter Ölvorratsbehälter
- Abnehmbares Drehkreuz
- Prüfanschlüsse freilaufend (d. h. Messgeräte können orientiert werden)
- Präzise Prüfdruckeinstellung durch Feinregulierventil (bei Typ CPP1000-M als Option)
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Datenblatt
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Bedienungsanleitung
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- Ergonomische Handhabung durch leichtgängige, innenlaufende Präzisionsspindel
- Integrierter Ölvorratsbehälter
- Abnehmbares Drehkreuz
- Prüfanschlüsse freilaufend (d. h. Messgeräte können orientiert werden)
- Integrierte Vordruckpumpe für große Prüfvolumen
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Datenblatt
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Bedienungsanleitung
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- Druckbereiche: 1 ... 1.000 mbar
- Genauigkeit: bis 0,1 % FS
- Integrierte, automatische Druckerzeugung
- Portabel, auch ohne Netzteil nutzbar durch Li-Ionen Akku
- Einfache Handhabung
Datenblatt
Bedienungsanleitung
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- Druckbereiche: -1 ... 210 bar (-15 ... 3.045 psi)
- Regelgeschwindigkeit 10 s
- Regelstabilität < 0,005 % FS
- Genauigkeit bis 0,02 % IS (IntelliScale)
- Präzision 0,008 % FS
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Datenblatt
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Bedienungsanleitung
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- Dehnungen von 0 … 200 με bis max. 0 … 1.000 με
- Nachrüstbar, einfache Montage mit M6-Schrauben
- Gesamtfehler < 1 % Fnom
- Elektrischer Anschluss als Kabel, mit Stecker-Funkmodul, Display oder Anschlusskasten.
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Datenblatt
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- 2 fache mV/V-Anzeige
- 2x Digitaleingang und 4x Digitalausgang
- Integrierte Mehrfach-Signalausgänge verfügbar
- Serielle Schnittstelle, RS-232 oder RS-485
- Schutzart IP65
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Datenblatt
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