DatenblattDruck UNIK5000-UHP – Hochpräziser Drucktransmitter für Ultra-High-Purity-Anwendungen
Der Druck UNIK5000-UHP ist ein leistungsfähiger Drucktransmitter, der speziell für die hohen Anforderungen hochreiner Prozessumgebungen entwickelt wurde. Er eignet sich insbesondere für die Halbleiterfertigung, Solarzellenproduktion, LCD- und LED-Herstellung sowie für hochreine Gasversorgungssysteme und Reinraumanwendungen.
Auf Basis der bewährten Druck UNIK5000-Plattform vereint der UNIK5000-UHP präzise piezoresistive Sensortechnologie, hohe Langzeitstabilität und eine auf Ultra-High-Purity-Prozesse abgestimmte Konstruktion. Die Fertigung unter kontrollierten Reinraumbedingungen sowie spezielle Reinigungs- und Verpackungsverfahren unterstützen die hohen Reinheitsanforderungen moderner Produktionsanlagen.
Hohe Messgenauigkeit und Langzeitstabilität
Der UNIK5000-UHP bietet Messbereiche von 1 bis 350 bar und ist in Ausführungen für Relativdruck, Absolutdruck und sealed gauge erhältlich. Die verfügbaren Genauigkeitsklassen ermöglichen eine Anpassung an unterschiedliche industrielle Anforderungen.
- Verbesserte Genauigkeit: ±0,1 % FS BSL
- Industrielle Genauigkeit: ±0,2 % FS BSL
- Typische Langzeitstabilität: ±0,05 % FS pro Jahr
- Überdruckfestigkeit je nach Ausführung bis 1.200 bar
Die piezoresistive Sensortechnologie gewährleistet eine hohe Messstabilität und zuverlässige Druckerfassung bei kontinuierlichem industriellem Einsatz.
Ultra-High-Purity-Konstruktion nach SEMI-Anforderungen
Der UNIK5000-UHP wurde speziell für hochreine Gase und empfindliche Fertigungsprozesse entwickelt. Die Prozessanschlüsse sind elektropoliert und erreichen eine Oberflächenrauheit von Ra ≤ 0,13 µm (Ra 5) entsprechend SEMI F19.
Die medienberührten Werkstoffe erfüllen nach Herstellerangaben die Anforderungen von SEMI F20. Optional sind VIM/VAR-Werkstoffausführungen verfügbar.
Alle medienberührten Komponenten werden gereinigt und entfettet. Anschließend erfolgt eine doppelte Vakuumverpackung, um das Risiko von Verunreinigungen während Transport und Lagerung zu minimieren.
Flexible Prozessanschlüsse für HP- und UHP-Systeme
Für die Integration in hochreine Gasversorgungssysteme stehen verschiedene HP- und UHP-Prozessanschlüsse zur Verfügung. Dadurch lässt sich der Drucktransmitter an unterschiedliche Anlagenkonzepte, Gasversorgungssysteme und OEM-Anwendungen anpassen.
Die flexible Konfiguration unterstützt den Einsatz in Gasverteilern, Gas Cabinets, Prozessgasleitungen und anderen hochreinen Druckmesssystemen.
Großer Temperaturbereich
Der UNIK5000-UHP ist für Temperaturen von -40 bis +125 °C ausgelegt. Der breite Temperaturbereich unterstützt eine zuverlässige Druckmessung auch bei anspruchsvollen thermischen Umgebungsbedingungen.
Die Temperaturkompensation trägt dazu bei, temperaturbedingte Messabweichungen zu reduzieren und eine stabile Messleistung sicherzustellen.
Verschiedene elektrische Ausgangssignale
Der Drucktransmitter lässt sich flexibel in industrielle Steuerungs- und Überwachungssysteme integrieren. Je nach Konfiguration sind unterschiedliche analoge Ausgangssignale verfügbar:
- 4–20 mA
- 0–5 V
- 0–10 V
- Kundenspezifisch konfigurierbare Ausgangssignale
Mit einer Einschaltzeit von weniger als 30 ms steht der Sensor schnell für die Druckerfassung zur Verfügung.
Optionaler Explosionsschutz
Für Anwendungen in explosionsgefährdeten Bereichen sind entsprechende Geräteausführungen mit internationalen Zulassungen verfügbar. Dazu gehören ATEX, IECEx, FM und NEPSI für eigensichere Anwendungen.
Die tatsächlich verfügbare Zulassung ist von der gewählten Sensorkonfiguration abhängig.
Technische Daten
| Merkmal | Spezifikation |
|---|---|
| Hersteller | Druck |
| Modell | UNIK5000-UHP |
| Gerätetyp | Ultra-High-Purity-Drucktransmitter |
| Messprinzip | Piezoresistive Druckmessung |
| Messbereiche | 1 bis 350 bar |
| Druckarten | Relativdruck, Absolutdruck, sealed gauge |
| Genauigkeit (Improved) | ±0,1 % FS BSL |
| Genauigkeit (Industrial) | ±0,2 % FS BSL |
| Langzeitstabilität | Typisch ±0,05 % FS/Jahr |
| Überdruckfestigkeit | Je nach Ausführung bis 1.200 bar |
| Temperaturbereich | -40 bis +125 °C |
| Ausgangssignale | 4–20 mA, 0–5 V, 0–10 V, kundenspezifische Varianten |
| Einschaltzeit | Weniger als 30 ms |
| Prozessanschlüsse | Verschiedene HP-/UHP-Anschlussvarianten |
| Oberflächenbehandlung | Elektropolierte Prozessanschlüsse |
| Oberflächenrauheit | Ra ≤ 0,13 µm (Ra 5) gemäß SEMI F19 |
| Medienberührte Werkstoffe | Gemäß SEMI F20 |
| Werkstoffoptionen | VIM/VAR verfügbar |
| Reinigung | Medienberührte Bauteile gereinigt und entfettet |
| Verpackung | Doppelte Vakuumverpackung |
| Fertigung | Reinraumfertigung |
| Explosionsschutz | ATEX, IECEx, FM, NEPSI optional |
| Typische Anwendungen | Halbleiterfertigung, Solarindustrie, LCD-/LED-Produktion, hochreine Gasversorgung |
Typische Anwendungsbereiche
Halbleiterfertigung
Präzise Drucküberwachung hochreiner Prozessgase in Halbleiterproduktionsanlagen, Gasversorgungssystemen und empfindlichen Fertigungsprozessen.
Solarzellen- und Photovoltaikproduktion
Druckmessung in hochreinen Gasversorgungssystemen zur Fertigung von Solarzellen und Photovoltaikmodulen.
Ultra-High-Purity-Gasversorgung
Integration in Gas Cabinets, Gasverteilungssysteme, Gasleitungen und Anlagen zur Versorgung mit hochreinen Prozessgasen.
LCD- und LED-Herstellung
Drucküberwachung in Fertigungsanlagen, bei denen hohe Reinheitsanforderungen und stabile Prozessbedingungen erforderlich sind.
Reinraum- und OEM-Anwendungen
Einbindung in kundenspezifische Anlagen und hochreine Fluidsysteme mit besonderen Anforderungen an Werkstoffe, Oberflächenqualität und Reinigungsverfahren.
Fazit
Der Druck UNIK5000-UHP verbindet hochpräzise Druckmesstechnik mit einer speziell für Ultra-High-Purity-Anwendungen entwickelten Konstruktion. Elektropolierte Prozessanschlüsse, SEMI-konforme Werkstoffe, Reinraumfertigung und umfangreiche Konfigurationsmöglichkeiten machen ihn zu einer zuverlässigen Lösung für die Halbleiter-, Solar- und Elektronikindustrie.
